LVC414 ASM Liquid Vapor Vaporizer Controller LVC 414
نام تجاری / تولید کننده | ASM / USA |
شماره قطعه |
LVC414 |
تعداد قطعه متناوب |
LVC414 |
شرح | کنترل کننده بخار مایع بخار |
ابعاد | 6.3cm x 11.4 cm x 15.0 cm |
وزن | 0.55 کیلوگرم |
جزییات محصول
کنترل کننده الکترونیکی Vaporizer LVC-414 برای اندازه گیری و کنترل دقیق طراحی شده است
میزان گردش جرم (گرم در دقیقه) مواد دوپینگ با تغییر جریان گاز حامل از طریق a
حباب حاوی ماده منبع.
Source materials include SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 and BBr3. مواد منبع شامل SiCl4 ، SiHCl3 ، POCl13 ، GeCl4 و BBr3 هستند. Other doping material can سایر مواد دوپینگ می توانند
همچنین کنترل شود ، به شرطی که آنها برای غلظت کافی از تبخیر کنند
ratiodetection. تنظیم مجدد Carrier gases include H2, He, N2, O2 and Ar. گازهای حامل شامل H2 ، He ، N2 ، O2 و Ar هستند.
سه خروجی ارائه شده است:
منبع (0 تا + 5VDC).
حامل (0 تا + 5VDC)
نسبت (0 تا + 5VDC).
این خروجی ها را می توان با هر ولت متر 5 ولت DC با حساسیت 1000 کنترل کرد
ohms/volt or more. اهم / ولت یا بیشتر. A built-in valve varies the carrier mass flow rate to control the source یک شیر داخلی برای کنترل منبع سرعت جریان جرم حامل را تغییر می دهد
gram/min. گرم / دقیقه selected by an external control voltage. با ولتاژ کنترل خارجی انتخاب شده است.
یک بسته کوچک تنها شامل بخش فلومتر ، ردیاب نسبت ، شیر کنترل و ... می باشد
الکترونیک
مشخصات فنی
جریان گازی MINIMUM: 5٪ حداکثر
MAXIMUM SOURCE FLOW: Up to 40 grams/min. جریان منبع حداکثر: حداکثر 40 گرم در دقیقه. full scale مقیاس کامل
دامنه فشار عملکرد: دیفرانسیل 10-40 psi
فشار گاز حداکثر: 60 psig
دما و دما دما: 60-90 درجه فارنهایت (15-35 درجه سانتیگراد) تا 43 درجه سانتیگراد بنا به درخواست ویژه
پاسخ: 10 ثانیه تا 4٪ از محل تنظیم
گازهای حامل: هیدروژن ، هلیوم ، ازت ، اکسیژن یا آرگون ، گاز مخلوط
قابلیت اطمینان: ± 0.5٪ از مقیاس کامل
حساسیت به فشار: 0.25 ± از مقیاس کامل برای فشارهای 10 تا 40 psid
صحت و انعطاف پذیری: ± 4.0 of از مقیاس کامل در کل محدوده عملیاتی
تنظیم فرمان: 0.1 تا 5 vdc
شاخص خروجی:
1. منبع: 0.1-5 vdc متناسب با سرعت جریان جرم مایع بخار شده
2. حمل: 0.1-5 vdc متناسب با سرعت جریان انبوه گاز حامل
3. RATIO: 0.1-5 vdc به صورت خطی متناسب با نسبت جریان بخار (SCCM) به جریان حامل
(SCCM) با 5 vdc = 50٪ مقیاس
پیشرفت برجسته: حداکثر 10 اهم
RIPPLE: حداکثر pp 50 mv
محصولات بیشتر
GE | DS200PCCAG5ACB | امرسون | KJ1611X1-EF1 |
GE | DS200RTBAG3AEB | امرسون | KJ1700X1-BA1 |
GE | DS200SBCBG1ADC | امرسون | KJ1710X1-BA1 |
GE | DS200SVAAG1A | امرسون | KJ1740X1-BA1 |
GE | DS3800HIOA1C1E | امرسون | KJ2001X1-BA1 |
GE | DS3800NDAC1D1E | امرسون | KJ2002X1-BA1 |
HMS | M00279 3266-140 | FOXBORO | FBM223 |
HMS | ABC-PDP AB7000-B | FOXBORO | FBM231 |
HMS | AB7000-C | FOXBORO | FBM242 |
IAI | DS-S-C1-L DSSC1LDS | FOXBORO | FCM10E |
IAI | PDR-I-200L-2 | FOXBORO | P0903CW |
با ما تماس بگیرید
miya@mvme.cn(کلیک)
ایمیل: miya@mvme.cn
QQ: 2851195450
تلفن: 86-18020776792
اسکایپ: miyazheng52
در هر زمان با ما تماس بگیرید